Parker 氣體質量流量控制器
Parker氣體質量流量控制器? 流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮氣)? 設定點的響應時間不超過1sec? 控制精度可達實際流量的1%? I/O(輸入輸出)可選模擬和數(shù)字信號? 可
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Description
Parker氣體質量流量控制器
? 流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮氣)
? 設定點的響應時間不超過1sec
? 控制精度可達實際流量的1%
? I/O(輸入&輸出)可選模擬和數(shù)字信號
? 可實現(xiàn)本地/遠程設置/顯示
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